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【特徴】●一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。●小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。●ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。【仕様】●材質：PFA（フッ素樹脂）●適用ウェハー径（φmm）：35〜50●収納数：48枚●溝ピッチ：7.5°●サイズ（mm）：φ134×25●型番：大

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