流量計付レギュレーター 4連式 1-3167-02

流量計付レギュレーター

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【特徴】●ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。●同時に3台（FMC-1）または4台（FMC-2）コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。【仕様】●タイプ：4連式●サイズ（mm）：280×133×190●＜圧力調整バルブ＞●対象ガス：Ar・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類●1次圧力：約0.98MPa（10kg/cm2）MAX●流量：30L/minMax●2次圧力：0〜約0.49MPa（0〜5kg/cm2）●接続チューブ外径：Φ6mm＜流量計＞●流量：10L/minMAX●耐圧：約0.69MPa（7kg/cm2）●耐熱：60℃MAX●接続チューブ外径：Φ6mm●ハウジング：PMMA（アクリル）