【特徴】●サーマルプロテクター内蔵です。●広域型ターボ分子ポンプのバックポンプとして使用できます。【仕様】●排気速度(L/min)：60/70(50/60Hz)●到達圧力(Pa)：100●電源：AC100V 50/60Hz●消費電力：250W●吸・排気口径：吸気管径/KF-16(NW-16)排気管/サイレンサ●サイズ(mm)：325×239×198●重量(kg)：16.4

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